1.蒸餾法 按蒸餾器皿可分為玻璃、石英蒸餾器，金屬材質(zhì)的有銅、不銹鋼和白金蒸餾器等。按蒸餾次數(shù)可分為一次、二次和多次蒸餾法。此外，為了去掉一些特出的雜質(zhì)，還需采取一些特殊的措施。例如預(yù)先加入一些高錳酸鉀可除去易氧化物；加入少許磷酸可除去三價(jià)鐵；加入少許不揮發(fā)酸可制取無(wú)氨水等。蒸餾水可以滿足普通分析實(shí)驗(yàn)室的用水要求。由于很難排除二氧化碳的溶入。所以水的電阻率是很低的，達(dá)不到MΩ級(jí)。不能滿足許多新技術(shù)的需要。
2.離子交換法 主要有兩種制備方式： A 復(fù)床式，即按陽(yáng)床-陰床-陽(yáng)床-陰床-混合床的方式連接并生產(chǎn)去離子水；早期多采用這種方式，便于樹(shù)脂再生。 B混床式（2-5級(jí)串聯(lián)不等），混床去離子的效果好。但再生不方便。離子交換法可以獲得十幾MΩ的去離子水。但有機(jī)物無(wú)法去掉，TOC和COD值往往比原水還高。這是因?yàn)闃?shù)脂不好，或是樹(shù)脂的預(yù)處理不徹底，樹(shù)脂中所含的低聚物、單體、添加劑等沒(méi)有除盡，或樹(shù)脂不穩(wěn)定，不斷地釋放出分解產(chǎn)物。這一切都將以TOC或COD指標(biāo)的形式表現(xiàn)出來(lái)。例如，當(dāng)自來(lái)水的COD值為2mg/L時(shí)，經(jīng)過(guò)去離子處理得到的去離子水的COD值常在5-10mg/L之間。當(dāng)然，在使用好樹(shù)脂時(shí)會(huì)得到好結(jié)果，否則就無(wú)法制備超純水了。
3.電滲析法 產(chǎn)生于1950年[4]，由于其能耗低，常作為離子交換法的前處理步驟。它在外加直流電場(chǎng)作用下，利用陰陽(yáng)離子交換膜分別選擇性的允許陰陽(yáng)離子透過(guò)，使一部分離子透過(guò)離子交換膜遷移到另一部分水中去，從而使一部分水純化，另一部分水濃縮。這就是電滲析的原理。電滲析是常用的脫鹽技術(shù)之一。產(chǎn)出水的純度能滿足一寫工業(yè)用水的需要。例如,用電阻率為1.6KΩ·cm(25°C)的原水可以獲得1.03MΩ·cm(25°C)的產(chǎn)出水。換言之，原水的總硬度為77mg/L時(shí)產(chǎn)出水的總硬度
4.反滲透法[5] 目前它是一種應(yīng)用最廣的脫鹽技術(shù)。反滲透膜雖在1977年 就有了，但其規(guī)模化生產(chǎn)和廣泛用于脫鹽卻是近幾年的事情。反滲透膜能去除無(wú)機(jī)鹽、有機(jī)物（分子量>500）、細(xì)菌、熱源、病毒、懸濁物（粒徑>0.1μm）等。產(chǎn)出水的電阻率能較原水的電阻率升高近10倍。
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